構(gòu)成
クリーナー主要な製品概要
液 晶
LCDカラーフィルター用の現(xiàn)像に最適な現(xiàn)像液をラインナップ。獨自の配合技術(shù)により、細線BM現(xiàn)像に対しても良好な現(xiàn)像性を?qū)g現(xiàn)。
(1)HAC:LCDカラーフィルターのRGBレジスト用 活性剤配合のネガレジスト現(xiàn)像液です。界面活性剤効果により細線現(xiàn)像や幅広い現(xiàn)像マージンを?qū)g現(xiàn)可能。
(2)DX:RGB用活性剤配合のネガレジスト現(xiàn)像液です。高濃縮タイプのため、優(yōu)れた現(xiàn)像性能?薬液使用量の削減が可能となります。有機アルカリタイプのため、金屬へのダメージが少なく、COA (Color Filter On Array)プロセスも対応可能です。
剝離性の強いリワーク再生剝離液です。ガラスに対するダメージが少なく、RGB,BM,UV cure/Heat cure OC, PS用レジストに対応可能です。
有機系洗浄液で、油分?研磨材?ダストなどの汚れを除去可能な製品です。
半 導(dǎo) 體
高精細なフォトリソグラフィプロセスに対応した、各種現(xiàn)像液、剝離液をランナップしています。その他にも、WLPプロセスで用いられる厚膜ネガレジストやドライフィルムレジスト用剝離液、ドライエッチング殘渣除去液などもラインナップしております。各種法規(guī)制に対応した製品、NMP非含有製品など環(huán)境に配慮した薬液をご提案可能です。
NK disperse UTシリーズ現(xiàn)像液
半導(dǎo)體、ディスクリートに使用される有機アルカリ?活性剤配合タイプのネガ?ポジレジスト用現(xiàn)像液です。カラーレジストやPIレンズなどネガ、ポジ両方の現(xiàn)像に対応しており、様々なプロセスに対して適用可能です。レジスト分散性に優(yōu)れた活性剤を選定し、パターン上にレジスト殘渣を殘さず、加えてレジスト起因の微細泡を消泡させる効果を有するため、次工程へ移行することが可能です。
NK poleveシリーズレジスト剝離液
(1)汎用レジスト剝離液
NK poleve 517
NK poleve PRS100
一般的な液體レジスト用剝離液
(2)高機能レジスト剝離液
NK poleve 496
NK poleve 480
DRIEプロセスにある変性レジストや厚膜レジストに対応可能。
(3)ドライフィルム用剝離液
NK poleve 117
NK poleve SH
ドライフィルム専用剝離液。
半導(dǎo)體プロセス応用事例
WLPにおいて、Micro Bump,Cu pillar, RDL、TSVなどのプロセスで、日本化薬の剝離液はご使用いだだけます。
電 子 部 品
電子部品のフラックス等の洗浄に用いられる各種洗浄剤をラインナップしています。フッ素、塩素などのハロゲン系溶剤を一切含有しない、地球環(huán)境に配慮した洗浄剤です。フラックスの洗浄並びに脫脂用洗浄など様々な用途に適した洗浄剤をご提案可能です。
原液使用とすることで、高い洗浄力を?qū)g現(xiàn)した製品ラインとなります。水溶性溶剤、特殊界面活性剤の配合により、微細な部分のフラックス殘渣の除去を?qū)g現(xiàn)した準水系洗浄剤です。
複數(shù)の溶剤を混合し、汎用的な油分、フラックスの除去性能が非常に高い炭化水素系洗浄剤です。強力な浸透力と溶解力により、細部に付著している汚れ(油分?フラックス)が除去可能です。